VP-R系列真空等離子清洗機
VP-R系列真空等離子處理儀對標國際品牌,*技術空白(專li:低溫真空石英腔體等離子清洗裝置),VP-R系列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行30分鐘,腔體溫度不高于32℃,不損傷樣品,適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
VP-R系列真空等離子清洗機特點
VP-R系列真空等離子清洗機優勢
01 Better Reliability,Better Operation
內置兩路氣路,氣體流量可調,無需再搭配氣體混合儀
zuan利軟件、操作簡易,智能化設計,避免誤操作
采用數字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況
中英文操作系統,觸摸屏控制,人機界面友好
電流、電壓實時監測,確保儀器穩定安全運行
清洗時長可在觸摸屏設置,等離子處理時間精確到秒(s)
PLASMA處理結束后,自動泄壓,泄壓時長和大小可調;可通入氮氣泄壓
功率高、中、低三擋可調
02對標國際yi線品牌,*技術空白
國內shou創,13.56MHz頻率用于PLASMA處理
性能bi肩國際一線產商,在控制自動化,人性化設計方面國際領xian
通入氣體和泄壓是獨立通道互不干擾;自動泄壓比手動泄壓更方便
腔體低溫,滿功率運行30分鐘腔體溫度不高于32°C,不損傷樣品
腔體材質為石英,不與等離子體反應,保證樣品不被污染
13.56MHz等離子體處理對材料既有清潔、刻蝕、也有活化改性作用
等離子體從腔體四周發出,對樣品處理更均勻、更*
03細節把控,給用戶更好體驗
石英材質真空腔體不與等離子體產生反應,不會污染樣品
配備的真空泵噪音和油氣污染小,真空度高
真空泵與主機聯動,可在觸摸屏控制真空泵開啟/關閉
1.5米不銹鋼波紋管,比橡膠管更耐用,密封性更好
標配清洗托盤,方便使用
安捷倫Agilent干泵(選配),避免油氣污染
OF-20油污過濾器(選配),避免排氣口油氣對實驗室環境的污染
04經典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末雜質和油質,增加石墨烯表面親水基團(-OH)提高親水性
金屬工件油污等離子清洗,不損傷樣品,去除表面油污
PDMS等離子活化改性,提升親水性和鍵合力
ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數
二維材料的清潔、刻蝕
硅片親水性處理,改性、活化表面
05石墨烯粉末VP-R3親水性處理XPS譜圖分析
處理前石墨烯粉末溶于蒸餾水,會粘在瓶壁上
處理后石墨烯粉末上下搖勻后,不會粘在瓶壁
處理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底,肉眼可見分層明顯
處理后石墨烯粉末懸浮在水體,說明其親水性增強
綠色曲線為處理前的XPS譜圖,曲線一直都是平穩走向
紅色曲線為處理后的XPS譜圖,曲線在285eV左右有個峰值,
可知石墨烯粉末的性質已改變
處理后石墨烯導熱率可提高40%,穩定性增強
06 ITO導電玻璃等離子VP-R3處理接觸角測量儀分析
CM-180接觸角測定可知,未處理ITO接觸角為80°C,處理后ITO接觸角48°C,親水性明顯增強
處理前平均接觸角、右接觸角和左接觸角三條曲線分離,處理后三條曲線重合,說明ITO表面更平整
VP-R系列滿功率運行30分鐘腔體溫度低于32°C,非常適合ITO導電玻璃不耐熱屬性
通入氧等離子體時,可以提高ITO導電玻璃的功函數
VP-R系列真空等離子清洗機技術規格
型號 | VP-R手動版 | VP-R3 | VP-R5 | VP-R10 |
腔體材質 | 石英玻璃 | |||
腔體容量 | 2L | 3L | 5L | 10L |
內腔尺寸 | Φ100x200Lmm | Φ150x200Lmm | Φ150x270Lmm | Φ200x320Lmm |
射頻功率 | 160W/200W(高功率版) | |||
射頻頻率 | 13.56MHz | |||
RF放射 | 無 | |||
頻率偏移量 | 小于0.2KHz | |||
等離子體轟擊 | 從四周向中間 | |||
等離子體激發 | 延時自動啟動 | |||
腔體溫度 | 滿功率運行30分鐘腔體溫度<32℃ | |||
清洗時間 | 手動設置 | 0 - 1800S 可調 | ||
功率調節 | 高、中、低三擋 | 高、中、低三擋可調 | ||
顯示屏 | 無 | 4.3寸觸摸屏 | ||
操作控制 | 手動控制 | 提供中英文操作界面,觸摸屏控制(設置清洗時間) | ||
氣體流量計 | 無 | 高精密2路浮子流量計 | ||
提供進氣氣路 | 一路進氣,進氣可調 | 兩路進氣,流量 0-300ml/min可調(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,氨氣等其他混合氣體) | ||
進氣管 | 一根6x4PU管 | 兩根6x4PU管,尾端配6轉10快擰接頭 | ||
泄壓 | 手動開關泄壓,泄壓速度可調 | 等離子處理結束,自動泄壓,泄壓時長可調??商峁┑獨饣蚱渌麣怏w泄壓通道(選配) | ||
真空泵極限真空度 | 5x10?²Pa | |||
噪音 | ≤56dB | |||
抽真空時間 | 啟動到發出輝光≤35秒(時間可調) | ≤55秒(時間可調) | ||
真空檢測 | 無 | 數字顯示 | ||
冷卻方式 | 風冷 | |||
腔體門 | 帶可視窗鋁合金 | 傳感器識別開/關,帶可視窗高強度鋁合金 | ||
真空泵控制 | 主機與真空泵聯動 | 主機與真空泵自動聯動并可在觸摸屏上控制真空泵開啟/關閉 | ||
供電電源 | AC220V/50Hz | |||
箱體平衡 | 減震橡膠腳杯 | |||
外形尺寸(LxWxH) | 420x420x320mm | 560x450x360mm | 650x500x475mm |
訂購信息
標準配置 | 主機、真空泵、1.5米波紋管、兩路/一路(手動版)進氣管、清洗托盤、六角工具、說明書、合格證、保修卡 |
選配件 | 1、油污過濾器 2、高硼硅圓形托盤 3、干性真空泵(防止油氣揮發,高潔凈實驗室適用) |